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甬江实验室采购化学机械抛光机(金属)等设备项目的采购公告

   日期:2024-01-12     来源:中国电力招标采购网    作者:dlztb    浏览:0    
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甬江实验室采购化学机械抛光机(金属)等设备项目国际招标公告(*)
公告次数:*
发布日期:****-**-**

对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于****年**月**日在 公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。

*. 招标条件

项目概况:甬江实验室因发展需要,需采购化学机械抛光机(金属)设备、等离子体增强化学气相沉积设备、高深宽比磁控溅射设备各*套。

资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。

项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。

*. 招标内容:

招标项目编号:****-****CBNB****

招标项目名称:甬江实验室采购化学机械抛光机(金属)等设备项目

项目实施

/

*

等离子体增强化学气相沉积设备

*套

借助微波或射频使气体电离,局部形成等离子体,在较低的温度下沉积薄膜。用于沉积SiO * 、SiNx、SiON、P-doped SiO * 、Ge-doped SiO * 、BPSG、FSG等薄膜。

/

*

高深宽比磁控溅射设备

*套

使用磁控溅射方式用于深硅刻蚀后的硅通孔孔壁沉积阻挡层(Ti或Ta)及电镀种子层(Cu),防止金属与Si相互扩散的同时作为后续电镀孔内填充金属的导电层。

/

*. 投标人资格要求

*.*特定资格条件:

*.*.*投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商,如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书;

*.*本项目不接受联合体投标。

*.*未领购招标文件不可以参加投标。

*.
未曾在电力招标采购网(www.dlztb.com)上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件!

项目 联系人:李杨  
咨询电话:010-51957458 
传真:010-51957412 
手机:13683233285 
QQ:1211306049 
微信:Li13683233285 邮箱:1211306049@qq.com

备注:欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后,查看项目业主,招标公告,中标公示等,并下载资格预审范围,资质要求,招标清单,报名申请表等。为保证您能够顺利投标,具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准,以招标业主的解答为准本。

编辑:chinabidding.co

 
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