1、招标条件
项目概况:MEMS及先进传感器集成制造工艺平台-PZT薄膜制造系统
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0705-254006088006
招标项目名称:PZT薄膜制造系统
项目实施地点:上海市
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | PZT薄膜制造系统 | 1套 | 最大可加工12”晶圆； 多溅射腔、具备电极材料、中间层材料、压电PZT材料薄膜沉积能力。 详见第八章“技术规格”。 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:（1） 投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；
（2） 投标人及投标货物的制造商近三年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉, （按附件6-6格式提供书面声明）；
（3） 投标货物须为全新机台，投标人必须在其投标文件中对投标货物作明确说明；
（4） 投标人及投标货物的制造商应具有履行合同所必须的设备和半导体专业技术能力，且需同时满足以下要求：需同时具备PZT制造设备、PZT工艺、PZT靶材三大方向的开发经验，并提供近 3 年内对应开发证明材料（可包括开发项目合同、成果鉴定文件或对应方向的知识产权证书等，所有材料需体现投标人在对应方向的核心参与角色）；同时针对上述三大方向，至少两个方向各具备1 项核心技术自主知识产权（证书权利人应为投标人，且在有效期内，不接受许可使用）；
（5） 投标人或投标货物的制造商须在境内设有专业的直属售后服务团队（包括：设备、工艺工程师），能提供本地化的售后服务；
（6） 投标人若为代理商，须获得并提供投标货物制造商出具的针对本项目的独家授权书及售后服务授权书；
（7） 本项目不接受联合体投标；
（8） 投标人须在投标截止期之前在商务部指定的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电产品交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册（由于机电产品交易平台的注册审核需要一定时间，如投标人在决定参加本项目投标后请尽早登录该网站查询自身是否已经处于有效注册状态，以免因临近投标截止时间再来办理注册事宜而影响正常投标）。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2025-11-07
招标文件领购结束时间:2025-11-14
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：有意参加本次招标的潜在投标人，请于2025年11月7日至2025年11月14日每个工作日的9:00～16:00时，在上海国际招标有限公司网站（www.shabidding.com）在线领购招标文件。招标文件每套售价1000元，售后不退。
招标文件售价:￥1000/$150
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2025-11-28 10:00
投标文件送达地点:上海市延安西路358号美丽园大厦19楼1904-3会议室
开标地点:上海市延安西路358号美丽园大厦19楼1904-3会议室
6、联系方式
招标人:上海芯物科技有限公司
地址:上海市嘉定区皇庆路333号3号楼
联系人:王老师
联系方式:/
招标代理机构:上海国际招标有限公司
地址:上海延安西路358号美丽园大厦14楼
联系人:唐臻善、金皓晟、王晋
联系方式:86-21-32173716、32173708 tangzhenshan@shabidding.com
7、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):